15:45 〜 16:00 [10p-N302-9] FLAによるジャーマナイド形成と活性不純物に与える影響 〇谷村 英昭1、河原崎 光1、加藤 慎一1、和田 涼太2、樋口 隆弘2、永山 勉2、黒井 隆2 (1.SCREENセミコンダクターソリューションズ、2.日新イオン機器)