16:15 〜 16:30
〇近藤 博基1、桑原 清2、Kumar Dhasiyan Arun1、堀 勝1 (1.名大低温プラズマ、2.片桐エンジニアリング)
近藤 博基
発表者・著者、共著者
2021年9月12日(日) 13:30 〜 17:30 N102 (口頭)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2021年9月12日(日) 13:30 〜 17:30 N102 (口頭)
16:15 〜 16:30
〇近藤 博基1、桑原 清2、Kumar Dhasiyan Arun1、堀 勝1 (1.名大低温プラズマ、2.片桐エンジニアリング)