[10a-N204-1~12] CS.10 6.5 表面物理・真空と7.6 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

△ [10a-N204-7] 表面活性化接合用新形高速原子ビーム源内部のプラズマ解析

〇森崎 諒¹、櫻井 淳平¹、岡 智絵美¹、山崎 貴大¹、赤尾 隆嘉²、高橋 知典²、辻 裕之²、大野 哲靖¹、秦 誠一¹ (1.名大工、2.日本ガイシ)

キーワード：表面活性化接合、高速原子ビーム、PIC-MCCシミュレーション

先行研究にて製作した表面活性化接合用新形高速原子ビーム源は，ビーム照射効率の向上と長寿命化を達成した．本研究では，ビーム源内部プラズマのシミュレーションによって，新形ビーム源が高効率なビーム照射を達成した要因の解明を目指した．その結果，新形ビーム源は，磁場印加による荷電粒子の誘導により，ビーム照射量の向上と高エネルギビームの生成を達成した可能性を確認した．