[11a-S301-1~7] 未来デバイス製造のためのアトミックレイヤープロセス；表面反応ダイナミクスの理解と制御

[11a-S301-6] 原子層プロセスにおける低エネルギーイオン照射誘起表面反応

〇伊藤 智子¹、唐橋 一浩¹、浜口 智志¹ (1.阪大院工)

キーワード：原子層プロセス