[11a-S301-1~7] 未来デバイス製造のためのアトミックレイヤープロセス；表面反応ダイナミクスの理解と制御

[11a-S301-7] 酸化物と有機金属錯体を経由したコバルトのThermal ALE

〇藤崎 寿美子¹、山口 欣秀¹、小林 浩之¹、篠田 和典¹、山田 将貴¹、濱村 浩孝¹、川村 剛平²、伊澤 勝² (1.日立研開、2.日立ハイテク)

キーワード：ALE、コバルト、有機金属錯体