[12p-N102-1~15] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

△ [12p-N102-3] Cycloolefin polymer surface treatment using an atmospheric pressure plasma

〇(M1)Yoshito Manabe¹, Kaishu Imanaka¹, Tatsuru Shirafuji¹, Jun-Seok Oh¹ (1.Osaka City Univ.)

Keywords:cyclo-olefin polymer, hydrophilicity, surface treatment

近年臨床検査の分野でその場で同時に多数の検査が可能なデバイスとしてマイクロ流路チップが注目されている. チップの素材として適した特性を持つシクロオレフィンポリマー COPは疎水性のため同素材同士の接着は困難であるので, 本報告では真空装置を用いずかつ低温で処理することの出来る大気圧低温プラズマを用いた材料表面の親水化処理を目指す.