[13p-N101-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [13p-N101-9] 極性反転とパルスH₂エッチングを利用したN極性面AlNの結晶成長

〇安高 和哉¹、You Lu¹、松村 航¹、花咲 光基¹、姚 永昭²、石川 由加里²、菅原 義弘²、横江 大作²、倉井 聡¹、岡田 成仁¹、山田 陽一¹、只友 一行¹ (1.山口大学大学院創成科学研究科、2.ファインセラミックスセンター)

キーワード：窒化アルミニウム、結晶成長