[22a-P04-1~18] 6.4 Thin films and New materials

[22a-P04-5] Development of ultrasonic atomization technique for MOD solutions for Bi-substituted rare-earth iron garnet thin films

〇Keitaro Isomura¹, Nishikawa Masami¹, Kawahara Masami², Arakawa Ryo³, Mori Shigeki³, Ishibashi Takayuki¹ (1.Nagaoka Univ. of Tech., 2.Kojundo Chem. Lab., 3.AIT)

Keywords:Magnetic thin film, Bi-substituted rare-earth iron garnet, Metal Organic Decomposition

これまで我々は，有機金属分解（MOD）法を用いた高品質なBi置換希土類鉄ガーネット薄膜の作製技術の開発を行ってきた。MOD溶液の塗布方法として，均一塗布が可能なスピンコート法を採用してきたが¹⁾，塗布した溶液のうち1％以下しか薄膜形成に利用できず，平面形状以外の基材への塗布も困難であった。そこで本研究では，指向性が高く，立体塗布も可能な手法として，超音波によりMOD溶液を霧化させ基板に塗布する技術を開発している。