09:15 〜 09:30 [18a-Z17-2] ベンゼンプラズマにより堆積されたアモルファス炭素膜の化学結合状態に及ぼす基板と原料供給位置の効果 〇篠原 正典1、仲居 辰夫1、佐々本 凌1、田中 諭志2、松本 貴士2 (1.福岡大工、2.東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)