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[17a-Z03-10] [分科内招待講演] 実験が大好きなだけのかけだしが世界で最初の量産用Alエッチング装置をつくってしまった話と、その後の静電チャックの開発について
キーワード：エッチング、静電チャック
1980年代半ばまでは半導体メーカーが製造装置も社内開発していた。筆者は1976年春にBCl3を用いてAlエッチングに成功したが学会発表は許されず、78年にバッチ式エッチャーを開発、同年末に会津工場に納入し世界に先駆けて16k/64kDRAMの量産に適用した。さらに静電チャックと6インチ用の枚葉式エッチャーを開発し200台以上量産工場に納入した。しかし装置ビジネスに発展させることはなく、エッチングメカニズムの研究など学会活動にシフトしていった。