[17a-Z03-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[17a-Z03-9] ガラス基板上に蒸着されたアルミニウム薄膜の大気圧プラズマジェットを用いた横方向エッチング (II) ～接地した金属板上でのプラズマ照射～

〇平島 伊織¹、桑畑 周司¹ (1.東海大工)

キーワード：大気圧プラズマ、アルミニウム、エッチング

ガラス基板上に蒸着されたアルミニウム(Al)薄膜への大気圧アルゴン(Ar)プラズマジェット照射において、絶縁体板上での照射と接地した金属板上での照射が比較された。接地した金属板上での照射では、Alの横方向のエッチング・レートが約1.6倍向上した。接地した金属板上での大気圧Arプラズマジェット照射が、Alの横方向のエッチング・レートの向上に有用であることがわかった。