2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物(SiC)

[18a-Z05-1~11] 15.6 IV族系化合物(SiC)

2021年3月18日(木) 09:00 〜 12:00 Z05 (Z05)

花房 宏明(広島大)、浅水 啓州(ローム)

11:15 〜 11:30

[18a-Z05-9] 界面層挿入が低仕事関数金属/n型4H-SiC界面のSBHに与える影響

土井 拓馬1,2、柴山 茂久1、坂下 満男1、清水 三聡2、中塚 理1,3 (1.名大院工、2.産総研・名大GaN-OIL、3.名大未来研)

キーワード:4H-SiC、ショットキー障壁高さ、MIGS