9:45 AM - 10:00 AM
[19a-Z33-4] Characterization of Microstructures in β-Ga2O3 Crystals by Raman Mapping
Keywords:Ga2O3, Schottky diode, Raman Mapping
β-Ga2O3結晶に対しラマンマッピング測定を行い、ラマン散乱強度分布から微細構造の可視化を試みた。β-Ga2O3には無極性光学フォノンとして10個のAgモードと5個のBgモードがあるが、全て800 cm-1以下に観測された。また、1300 cm-1付近にはブロードなピークが観測された。光学顕微鏡像、Ag(1)、Ag(3)、1300 cm-1でのラマンマッピング像の比較を行った。その結果、光学顕微鏡では観測できない微細構造を、顕微ラマンマッピングにより可視化することができた。