15:00 〜 15:15 [22p-C205-6] [講演奨励賞受賞記念講演] 窒化シリコン膜の低損傷かつ原子層制御を実現するGCIBエッチングプロセスの検討 〇竹内 雅耶1、藤原 怜輝1、豊田 紀章1 (1.兵県大工)