15:45 〜 16:00
〇居村 史人1、田中 宏幸1、大澤 孝治2、髙野 拓郎2、鐘堂 健三2、寺澤 靖雄2、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.産総研、2.ニデック、3.ミニマルファブ)
居村 史人
発表者・著者、共著者
2022年9月20日(火) 13:00 〜 16:30 A406 (A406)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2022年9月20日(火) 13:00 〜 16:30 A406 (A406)
15:45 〜 16:00
〇居村 史人1、田中 宏幸1、大澤 孝治2、髙野 拓郎2、鐘堂 健三2、寺澤 靖雄2、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.産総研、2.ニデック、3.ミニマルファブ)