[20a-C101-1~13] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [20a-C101-3] 銀細線レーザーパターニングによるフレキシブル透明電極の開発

〇隼瀬 真衣¹、住吉 真聡¹、瀧下 真一¹、ミゼイキス ビガンタス¹、小野 篤史¹ (1.静大院工)

キーワード：透明電極、光還元、メタルメッシュ

本研究の目的はサブミクロン線幅を有するメタルメッシュ型フレキシブル透明電極の開発である．透明電極の将来展開にはITOに代わる低抵抗かつフレキシブル性を有する次世代透明電極の開発が求められている．本研究では硝酸銀混合ポリマーに対してレーザーを集光照射し，光還元反応により銀細線を作製した．レーザー照射条件に対する銀細線の線幅および抵抗率の依存性とメタルメッシュ構造作製結果について詳細を発表する．