[20a-C101-1~13] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[20a-C101-5] 分子シミュレーションと深層学習による電子線リソグラフィの
パターン形状予測システム

〇井上 文太¹、平井 義彦²、安田 雅昭² (1.阪府大院工、2.阪公大院工)

キーワード：電子線リソグラフィ、深層学習、分子シミュレーション

電子線リソグラフィを例に，分子シミュレーションの結果を学習データとして材料およびプロセス条件とパターン形状の相関を記述するニューラルネットワークを構築した. 構築したシステムを用いて学習データに含めていない条件で予測したパターンの形状は，分子シミュレーションで得られた傾向をよく再現できた．また，分子シミュレーションによる解析をおよそ150倍高速化することが出来た．