[20a-C101-1~13] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

[20a-C101-8] Verification of Thermal Properties of Thermal Nanoimprint Resin for Deep Learning

〇Kai Kameyama², Yuusei Kunitou¹, Hiroaki Kawata¹, Masaaki Yasuda¹, Yoshihiko Hirai¹ (1.Osaka Metropolitan Univ., 2.Osaka Prefecture Univ.)

Keywords:nanoimprint, Glass-transition temperature, Moldability

ディープラーニングを利用して未知材料に対するプロセス設計を行う際、代替材料の熱特性に基づいたシミュレーション結果を用いた妥当性を実験的に検証した。ガラス転移温度の異なる PVC, PMMA,PCの熱特性は、各樹脂のガラス転移温度差だけシフトさせると、その特性は概ね一致した。次に、ガラス転移温度から同じだけ温度上昇させた状態で、ナノインプリント結果を調べた結果、概ね同一の成型結果となった。