[20a-C101-1~13] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[20a-C101-9] ディープラーニングを利用した熱ナノインプリントのプロセス設計

〇(M1C)國藤 裕成¹、山村 龍平²、亀山 開²、安田 雅昭¹、平井 義彦¹ (1.阪公大院工、2.阪府大院工)

キーワード：ナノインプリント、ディープラーニング、プロセスウィンドウ

ナノインプリントでは、充填割合を上げるためには、プレス圧力を高める必要がある。一方で、プレス中に発生するストレス(歪)により、樹脂にダメージを与え、欠陥を誘発する恐れがある。プレス圧力に対する成型高さと、発生する歪をシミュレーションにより予測し、これを知識データベースとして、ディープラーニングを利用して多様なパターン形状、材料に対するプロセス許容度を予測するプロセス設計システムを構築した。