[20p-A406-1~13] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[20p-A406-13] Study of three-axes Piezo-resistive Accelerometer using Full Minimal-Fab Process

〇Hiroshige Kogayu¹, Hiroyuki Tanaka², Fumito Imura², Sommawan Khumpuang^1,2, Shiro Hara^1,2 (1.MINIMAL, 2.AIST)

Keywords:MINIMAL, MEMS, Sensor

これまでピエゾ抵抗型１軸加速度センサ及び２軸加速度センサについて検討を行ってきたが、仕上げの段階として今までの知見を反映させ、フルミニマルプロセスによる３軸加速度センサの設計、試作を行った。試料を直接振動させて加速度を加え、出力電圧を測定した。x軸、y軸、z軸の感度の違いがあるものの3軸とも加速度に対し比例した出力電圧を得ることができ、基本的な特性を確認した。