[21p-B104-1~8] グリーン化に挑戦する半導体製造・プロセス技術

[21p-B104-3] ウエハプロセスのグリーン化イノベーションに向けた戦略的挑戦

〇堀 勝¹、関根 誠¹、石川 健治¹ (1.名大低温プラズマ)

キーワード：プラズマプロセス、製造科学、持続可能な社会

持続可能な社会を実現するために、あらゆる製造技術にCO₂排出量削減目標が設定され、環境を考慮しないモノづくりは破綻を迎えようとしている。大規模集積回路製造の80%以上にプラズマが導入されており、プラズマプロセスから排出されるエネルギーは途轍もなく大きい。一方で、従来の微細化や3次元実装に変革をもたらすチャンスとして捉えるべきである。ウエハプロセスにおける環境イノベーションの可能性について紹介する。