[21p-B104-1~8] グリーン化に挑戦する半導体製造・プロセス技術

[21p-B104-4] 半導体製造装置のLCCO₂算定・削減への挑戦

〇渋川 潤¹ (1.㈱SCREENｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｰｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ)

キーワード：半導体製造、ライフサイクル、CO2

半導体製造装置事業におけるCO₂排出量削減の取り組み、特に製品製造から廃棄までのライフサイクル全般におけるCO₂の算定・削減への取り組みについて、現状の課題と合わせて紹介致します。