[21p-B104-1~8] グリーン化に挑戦する半導体製造・プロセス技術

[21p-B104-8] パネルディスカッション

〇金山 敏彦¹、市村 公二²、渋川 潤³、瀬川 澄江⁴、石田 真彦⁵、若林 整⁶、堀 勝⁷、井上 史大⁸ (1.産総研、2.大日本印刷、3.SCREEN、4.東京エレクトロン、5.日本電気、6.東工大、7.名大、8.横国大)

キーワード：半導体製造技術、循環型経済、ライフサイクルアセスメント

半導体製造・プロセス技術の長期持続的なグリーン化のために、挑戦すべき課題について議論する。