[22a-A202-1~9] 6.2 Carbon-based thin films

[22a-A202-2] Evaluation of structural change on hydrogenated amorphous carbon films by sliding

〇Sota Norizuki¹, Yuki Hirata¹, Naoto Ohtake¹, Hiroki Akasaka¹ (1.Tokyo Tech.)

Keywords:Hydrogenated amorphous carbon films

水素化アモルファス炭素膜は高硬さ，低摩擦係数，耐摩耗性を有することから機械の摺動部に用いられている．この摺動特性は膜の構造や周囲環境に依存し，摺動により構造が変化する．本研究では水素化アモルファス炭素膜を鋼と摺動させながらフーリエ変換赤外吸収分光(FT-IR)を用いて膜及び摺動により摺動界面に生成される物質の構造を逐次評価した．