[22p-A406-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[22p-A406-14] プラズマスパッタリング法を用いたLiTiO膜の結晶性制御とLiイオン電池負極への応用

〇木賀 海青¹、山田 輝也¹、花井 稜¹、益本 幸泰¹、内田 儀一郎^1,2 (1.名城大理工、2.名城大エネセンター)

キーワード：スパッタリング、リチウムイオン電池