[22p-A406-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[22p-A406-15] 粉体ターゲットプロセスによるFe, Ti混合傾斜機能性膜の作製

〇川崎 仁晴¹、大島 多美子¹、柳生 義人¹、猪原 武士¹、日比野 祐介¹、佐竹 卓彦^1,2、青木 振一² (1.佐世保高専、2.崇城大)

キーワード：粉体ターゲット、傾斜機能性薄膜

安価なSUS304等の母材に対してNiやTiなどの水素ぜい化効果を持つ金属薄膜を作製する場合、薄膜と母材の界面構造が大きく異なるため効果は小さく、薄膜の剥離などの問題も発生する。これを防ぐために水素脆化効果の高いTiとSUSの含有率を膜厚方向に変化させる傾斜機能性薄膜をスパッタリング成膜法で作製させた。このとき密着性を増加させるためターゲットとしてTiO₂とSUSの粉体を混合させてその比率を変えながら作成した。