[22p-A406-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[22p-A406-5] フルオロカーボンプラズマにおけるGaNのエッチング特性

〇窪田 康生¹、高橋 和生¹ (1.京工繊大)

キーワード：エッチング