[23a-B101-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [23a-B101-5] ドロップレットフィルタ兼用陽極を用いた直流フィルタードアーク蒸着によるTiN膜形成

〇鬼頭 純平¹、橋本 侑樹¹、税木 善則¹、坂東 隆宏¹、針谷 達¹、滝川 浩史¹、儀間 弘樹² (1.豊橋技科大、2.オーエスジーコーティングサービス)

キーワード：フィルタードアーク蒸着、窒化チタン膜、真空アーク蒸着

直流アーク電流自身によってフィルタ磁界を発生させる屈曲状フィルタードアーク蒸着装置を新開発した。本装置を用いてTiN膜を作製し，薄膜の表面観察およびプラズマビームの観察を行った。実験結果から，本装置では直流アーク放電においてコイル状陽極を用いてプラズマを磁気的に輸送できることが分かった。また，真空アーク蒸着法で問題視されているドロップレットの付着が極めて少ない膜を形成できることがわかった。