[23a-B101-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [23a-B101-7] 白金ドープしたルチル型酸化チタンナノ粒子への大気圧低温酸素プラズマ支援アニーリング効果

〇(M1)牧野 祐大¹、川上 烈生¹、柳谷 伸一郎^1,2、新部 正人³、中野 由崇⁴、向井 孝志⁵ (1.徳島大理工、2.徳島大pLED、3.兵庫県立大、4.中部大、5.日亜化学)

キーワード：白金ドープ酸化チタン、プラズマ支援アニーリング、白色LED

光照射による活性酸素種（ROS）を容易に生成できるため，環境浄化材として酸化チタン（TiO₂）が注目されている．しかしながら光励起キャリアの再結合性が高いため，ROS生成が抑制され，その結果TiO₂の光触媒活性が実用的に低い．昨今，その課題を解決する技術として大気圧低温O₂プラズマ支援アニーリング（PAA）法を提案した．このPAA処理により，白色光照射下で，白金をドープしたルチル型TiO₂ナノ粒子が示した高い光触媒活性を報告する．