[23p-C102-1~14] 13.3 絶縁膜技術

△ [23p-C102-7] ペロブスカイト酸化物界面におけるダイポール層LaAlO₃の原子層積層順序とダイポール方向の相関の水平力顕微鏡による検証

〇田村 敦史¹、喜多 浩之^1,2 (1.東大院工、2.東大院新領域)

キーワード：ダイポール、ペロブスカイト、水平力顕微鏡

本研究では試料表面の構成原子に依存する摩擦力を測定する水平力顕微鏡を用いて、界面ダイポール効果とLaAlO₃(LAO)積層順序についての相関を検証した。結果、LAO/(SrAlO_x(SAO))/SrRuO₃スタックにおいて、SAO挿入の有無で表面終端に差があることが明らかとなり、LAOの積層順序の変調が示唆された。また、カットオフエネルギー測定によるダイポールの向きの測定と合わせて、界面ダイポール層積層順序がダイポール層形成を決めることが検証された。