2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[25a-E104-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2022年3月25日(金) 09:00 〜 12:00 E104 (E104)

深沢 正永(ソニーセミコンダクタソリューションズ)、本田 昌伸(東京エレクトロン宮城)

11:00 〜 11:15

[25a-E104-8] 質量分析法を用いた二周波容量結合型Ar/C4F8/Oパルスプラズマ中イオンの時分解計測

〇(M1)関 悠斗1、加藤 閣人1、久保井 宗一1、鈴木 陽香1,2、豊田 浩孝1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)

キーワード:二周波容量結合型プラズマ、時分解計測