PDF ダウンロード スケジュール 29 いいね! 0 コメント (0) 11:00 〜 11:15 [25a-E104-8] 質量分析法を用いた二周波容量結合型Ar/C4F8/O2パルスプラズマ中イオンの時分解計測 〇(M1)関 悠斗1、加藤 閣人1、久保井 宗一1、鈴木 陽香1,2、豊田 浩孝1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研) キーワード:二周波容量結合型プラズマ、時分解計測