[25a-E203-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[25a-E203-4] MOVPE成長温度とメサの大きさがステップフリーAlN膜の表面形態に与える影響

〇(M1)山中 祐人¹、正直 花奈子¹、窪谷 茂幸²、上杉 謙次郎^2,3、三宅 秀人^1,3 (1.三重大院工、2.三重大地創戦略企、3.三重大地域イノべ)

キーワード：窒化物半導体、有機金属気相成長、表面形態