[25p-D114-1~16] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[25p-D114-9] Siパターン基板上へのGeエピタキシャル層のCVD成長

〇(M1)ムハマド ファイズ ファイズ¹、Jose A. Piedra-Lorenzana¹、飛沢 健¹、中井 哲弥²、石川 靖彦¹ (1.豊橋技科大、2.(株)SUMCO)

キーワード：Ge、CVD 成長、Geエピタキシャル層