[25p-E104-1~21] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

△ [25p-E104-19] Effects of discharge-off period on CO₂ methanation in pulsed-discharge plasmas

〇Taiki Hasegawa¹, Masashi Ideguchi¹, Daisuke Yamashita¹, Susumu Toko², Kunihiro Kamataki¹, Kazunori Koga^1,3, Masaharu Shiratani¹ (1.Kyushu Univ., 2.Osaka Univ., 3.NINS)

Keywords:plasma, methanation

CCP装置においてパルス放電プラズマを用いて、プラズマoff時間を制御パラメータとしてCO2メタン化を行った。結果として、CO₂変換率とエネルギーコストは放電休止時間が短くなるほど増加し、プラズマoff時間が12.5μsのときのCO₂変換率は52%、エネルギーコストは154.9であった。プラズマoff時間を長くすることでエネルギーコストを大幅に低減出来ることが分かった。詳細は講演にて報告する。