09:45 〜 10:00
〇大堀 大介1、尾崎 卓哉1、Li Yiming2、遠藤 和彦1、寒川 誠二2,1 (1.東北大流体研、2.NYCU)
大堀 大介
発表者・著者、共著者
2023年3月17日(金) 09:00 〜 11:30 A205 (6号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2023年3月16日(木) 13:00 〜 17:45 B401 (2号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 15 結晶工学
- | 15.4 III-V族窒化物結晶
17:00 〜 17:15
〇大堀 大介1、石原 崇寬1、王 学論2,3、名取 伸浩4、佐藤 大輔4、Li Yiming5、遠藤 和彦1、寒川 誠二5,1 (1.東北大流体研、2.産総研、3.名大IMaSS、4.昭和電工、5.NYCU)