曽根正人

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座長等

2023年3月15日(水) 13:00 〜 17:30 B410 (2号館)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[15p-B410-1~15] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

曽根正人(東工大)、居村史人(Hundred Semiconductors)

2023年3月16日(木) 09:00 〜 11:30 B410 (2号館)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[16a-B410-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

曽根正人(東工大)、米谷玲皇(東大)