プラズマ酸化したAlScNに及ぼす先行プラズマ窒化の影響のAR-HAXPESによる評価

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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[15p-A404-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

2023年3月15日(水) 13:00 〜 18:30 A404 (6号館)

山田智明(名大)、清水荘雄(物材機構)、内田寛(上智大)、野田実(京工繊大)

18:00 〜 18:15

〇堤智也¹、五島一樹¹、桐原芳治¹、岡崎樹²、保井晃³、角嶋邦之⁴、三谷祐一郎^1,2、野平博司¹ (1.東京都市大学、2.東京都市大総研、3.高輝度光科学研究センター、4.東工大)

キーワード：AlScN、硬X線光電子分光法、プラズマ酸化