[16a-B410-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [16a-B410-2] 金めっき微小ピラー構造体の微小圧縮試験におけるひずみ速度依存性とサンプルサイズ効果の解明

〇(B)菅野 翔太¹、大村 太郎¹、栗岡 智行¹、Chun-Yi Chen¹、Parthojit Chakraborty¹、町田 克之¹、伊藤 浩之¹、三宅 美博¹、曽根 正人¹、Tso-Fu Mark Chang¹ (1.東工大)

キーワード：MEMS、金、サンプルサイズ効果

金材料はMEMS加速度センサへの応用が期待されている。その開発に向けて、微小金材料の機械特性評価は重要である。したがって、サンプルサイズ効果とひずみ速度依存性の関係を明らかにする研究を行った。結果として、本研究の試験片サイズではひずみ速度依存性に対するサンプルサイズの影響は小さいことが明らかになった。