[16a-B410-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [16a-B410-6] Au積層メタル技術によるMEMSデバイスのための九十九折ばね設計手法の検討

〇(B)御宿 希祐¹、大西 哲¹、Tennteni Devi Srujana¹、町田 克之¹、Chakraborty Parthojit¹、曽根 正人¹、三宅 美博¹、伊藤 浩之¹ (1.東工大)

キーワード：MEMS、九十九折ばね、金積層メタル技術