[17p-A205-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [17p-A205-13] 二周波重畳容量結合型プラズマにおけるシース内衝突がRF電極入射粒子の角度分布に及ぼす影響

〇(B)川村 隼也¹、市川 景太¹、鈴木 陽香¹、飯野 大輝²、福水 裕之²、栗原 一彰²、豊田 浩孝¹ (1.名古屋大、2.キオクシア)

キーワード：エッチング

プラズマから基板へする高エネルギー粒子の入射角度分布はエッチング精度を決める上で重要なパラメータの一つであるが,報告例は少ない.本研究では,二周波重畳容量結合型プラズマを用いて,シース厚さを制御した条件下で圧力を変化させることにより,シース内での高エネルギー粒子衝突が角度分布に及ぼす影響を調査したので報告する.