[17p-A205-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[17p-A205-16] イットリウム鉄ガーネットに対するアルゴン・メタン水素混合ガスを用いたプラズマドライエッチングの検討

〇(M1)北井 達也¹、高 思源²、岩本 敏²、太田 泰友¹ (1.慶應大理工、2.東大先端研)

キーワード：プラズマドライエッチング、イットリウム鉄ガーネット、磁気光学

通常の誘電体のみでは実現の難しい種々の非相反微小光デバイスの創出のため、磁気光学材料として物性に優れたイットリウム鉄ガーネット(YIG)によるナノ光構造の実現が望まれる。しかしYIGは微細加工が難しく、高度な微細加工には至っていない。今回我々は、YIGに対する新しい微細加工技術としてArとメタン水素の混合ガスによるドライエッチングを検討し、急峻なエッチング側壁角を実現したので報告する。