2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[17p-A205-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2023年3月17日(金) 13:00 〜 17:45 A205 (6号館)

唐橋 一浩(阪大)、藤崎 寿美子(日立製作所)

13:30 〜 13:45

[17p-A205-3] マイクロ波水素プラズマによるシリコンナノコーン形成における窒素および水蒸気添加の影響

多村 尚起1、野村 俊光1、垣内 弘章1、大参 宏昌1 (1.阪大院工)

キーワード:マイクロ波プラズマ、ブラックシリコン、太陽電池