[17p-B414-1~15] 13.1 Fundamental properties, surface and interface, and simulations of Si related materials

[17p-B414-14] Acoustic Phonon Scattering in Free-standing Anisotropic Silicon Plates

〇Nobuya Mori¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:semiconductor, acoustic phonon, electron-phonon interaction

極微細MOSFETにおいて，短チャネル効果を抑制するためには，極薄チャネルの導入が必要となる．極薄チャネルでは，電子状態のみならず，音響フォノンモードも変調を受ける．これまでに，Siを等方的な弾性体と近似した範囲で，変調音響フォノンと電子との相互作用が調べられてきた．しかし，実際は，Si結晶は異方性を有している．そこで，本研究では，Si結晶の異方性が音響フォノン散乱に与える影響について調べた．