[J224] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

2023年9月6日(水) 15:00 〜 15:45 Room 32 (11号館206室)

座長:三宅修吾(神戸市立工業高等専門学校)

15:00 〜 15:15

[J224-01] フラッシュ法および周期加熱法における黒化処理の影響

〇山藤靖一朗¹、大槻哲也¹、太田弘道²、西剛史²、細野和也³ (1. 株式会社べテル、2. 茨城大学、3. A&R)

15:15 〜 15:30

大口健一¹、渡辺匠¹、福地孝平¹、〇黒沢憲吾² (1. 秋田大学、2. 秋田県産業技術センター)

15:30 〜 15:45

杉山裕子¹、泉隼人¹、〇神谷庄司¹ (1. 名古屋工業大学)