[J041] 超音波計測・解析法の新展開

[J041-01] 音響共鳴を利用したフォトレジスト膜の品質評価について

〇燈明 泰成¹、キム へリン¹ (1. 東北大学)

キーワード：超音波、フォトレジスト膜、音響共鳴、音速、密度