Schedule 2 3:00 PM - 3:15 PM [J111-01] A Study on a High Power Pneumatic Micropump Using Micro Sheet Valves Takaaki Kubo1, 〇Kazuhiro Yoshida1, Joon-wan Kim1 (1. 東京工業大学) Keywords:空気圧マイクロポンプ、マイクロシートバルブ、空気圧システム、MEMS、マイクロアクチュエータ