[J113p] トライボロジーの基礎・応用と表面設計［ポスター］

[J113p-20] 未使用原料ガスの排気抑制のための
滞在時間増加がDLC成膜に及ぼす影響

〇伊藤 千夏¹、上坂 裕之¹、小田 昭紀² (1. 岐阜大学、2. 千葉工業大学)

キーワード：DLC、プラズマ、環境負荷低減、PECVD、表面処理