[J133p] マイクロナノ理工学：nmからmmまでの表面制御とその応用［ポスター］

[J133p-02] 一方向磁場印加形高速原子ビーム源の試作

〇大島 京祐¹、野村 航¹、加藤 泰成¹、岡 智絵美¹、櫻井 淳平¹、秦 誠一¹ (1. 名古屋大学)

キーワード：高速原子ビーム、表面活性化接合、基板接合、Arプラズマ