[J221p] マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用［ポスター］

[J221p-01] 薄膜金属ガラスのバイメタル効果を利用した自立微細構造体の製作

〇陳 永傑¹、永井 伶於¹、大西 拓也¹、岡 智絵美¹、櫻井 淳平¹、秦 誠一¹ (1. 名古屋大学)

キーワード：MEMS、バイメタル効果、マイクロプローブ、自己組立、薄膜金属ガラス