[J221p] マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用［ポスター］

[J221p-04] ミストCVDを用いた二硫化モリブデン (MoS₂) 薄膜の形成と層数制御

〇小松 正彦¹、安岡 龍哉¹、刘 丽^1,2、川原村 敏幸^1,2 (1. 高知工大シス工、2. 高知工大総研)

キーワード：MoS2、層状物質、二次元材料、ミストCVD、潤滑剤、SA-CVD、薄膜